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1、無塵車間凈化設備安裝好后小心地拆除隔離墻，經過過濾的空氣可以接入送風。進行這一步的時間應該仔細地選定，盡量減少對無塵車間內正常工作的干擾。
2、無塵車間設備內部和關鍵的加工小室應該在正常的潔凈室條件下進行清潔和投入使用的準備工作。
3、無塵車間凈化設備安裝結束后對所有適當的潔凈室內和所有與產品接觸或涉及產品傳遞的表面都要進行擦拭，達到要求的潔凈度級別。設備的清潔程序應該是從頂到底，因為如果有粒子散布，較大的粒子會因重力而落到設備的底部或地面上。
4、對無塵車間設備外部清潔，順序也是從頂到底。
5、無塵車間凈化設備安裝完工如必要時，應該檢查產品或工藝要求非常關鍵的區域的表面粒子情況。
